第十二届国际气溶胶大会将于 2026  年 8 月 30 日 - 9月 5 日在西安举行。本届大会主题为“同呼吸，共命运”，旨在汇聚全球气溶胶研究领域的专家学者，共同探讨前沿科学问题与技术应用，推动气溶胶科学为全球气候环境与健康事业贡献力量。涵盖气溶胶测量技术、气溶胶物理基础、气溶胶与污染、气溶胶与气候、气溶胶与健康、气溶胶控制技术等主题，并设立COVID-19与气溶胶、区域分会场（中日韩、非洲、东南亚等）、青年科学家论坛等特别专题。

复纳展位：A46
会议时间：2026  年 8 月 30 日 - 9月 5 日
会议地点：西安曲江国际会议中心（西安雁塔区汇新路 15 号）

复纳科学仪器（上海）有限公司（以下简称“复纳科技”）致力于为气溶胶研究与应用提供智能、高效、可靠的高科技解决方案，利用其技术优势与丰富的产品组合，深耕气溶胶制备、表征与颗粒监控领域，积累了大量的行业用户案例和应用经验，助力科研创新与产业质量提升。

1. VSParticle 纳米气溶胶团簇发生沉积系统

火花烧蚀技术利用火花放电技术原理，在曲率不大的电极材料（靶材）两端施加高压，从而击穿不 导电介质形成持续的放电，因为火花放电伴随着低功率爆发式的能量输出，电极材料在烧蚀作用下 会迅速蒸发（闪蒸）成为原子，并逐渐冷凝长大成为颗粒，颗粒分散在惰性气体氛围中形成纳米气 溶胶。支持 60 余种元素的金属，氧化物，合金，碳纳米气溶胶制备与沉积。

支持 60 余种元素的金属，氧化物，合金，碳纳米气溶胶制备与沉积。

• 收集 0-20 nm 单分散纳米气溶胶/气凝胶
• 团簇级气溶胶颗粒筛选
• 气溶胶颗粒负载
• 气溶胶颗粒图案化薄膜打印

火花烧蚀纳米气溶胶沉积

气溶胶纳米颗粒

2. Phenom Pharos G2 飞纳台式场发射扫描电镜

Pharos G2 台式场发射扫描电镜以纳米级高分辨成像结合能谱实时分析，轻松解析气溶胶单颗粒的形貌、粒径与元素组分。无需喷金、无需机房，桌面上即可完成从颗粒表征到源解析的全流程。

• 分辨率最高的台式电镜：优于 1.5 nm
• 完全防震防磁，可放置产线旁、高楼层
• 加速电压：1 kV - 20 kV 连续可调
• 无损伤观察电子束敏感样品
• 电镜放大倍数：最高 2,000,000x

案例分享

3. Fastmicro 可视化颗粒检测

a. 环境落尘颗粒实时监控仪 PFS

Fastmicro 环境落尘颗粒实时监控仪，专为洁净室颗粒沉积速率测量而研发，支持秒级间隔的数据采集，精准测量 0.5 um 以上颗粒。结合直观易用的软件系统，帮助客户实现从单纯空气监测向表面洁净度监测的跨越式升级，为工艺流程优化和洁净度持续改进提供科学依据。

• 符合 ISO 14644-17 标准
• 可检测低至 0.5 um 颗粒
• 10 秒完成 2 英寸面积检测
• 适用于真空与常压环境

b. 仪器表面颗粒物分析仪 SAS

Fastmicro 仪器表面颗粒物分析仪，是一款基于“胶带粘取”采样技术的表面污染检测工具，可通过间接测量方式识别小至 0.5 um 的颗粒污染物。其配备的专用 PMC 采样卡能在各类表面（包括难以触及区域和高粗糙度表面）实现灵活采样，且不会残留可检测的痕迹。该设备可在数秒内完成 225 mm2 采样区域的分析，确保快速获得精准检测结果。搭配 2 英寸晶圆支架，也可对沉降颗粒进行检测，满足跨行业复杂场景的检测需求。

• 符合 ISO 14644-9 标准
• 可检测低至 0.5 um 颗粒
• 90% 采集效率 | >90% 重复性
• 10 秒完成检测

Dr. Ir. L.H.A. Leunissen | ASML, cleanliness project manager 说到： “作为长期合作伙伴，Fastmicro 的整合应用使我们达成了设备缺陷率指 标要求。该设备不仅测量精准，更具备操作简便和高通量特性。我们高度 认可 Fastmicro 的专业服务，并期待未来通过深度合作进一步拓展设备的 功能边界。

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